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MEMS加速度計是利用傳感質量的慣性力測量的傳感器，通常由標準質量塊（傳感元件）和檢測電路組成。

IMU主要由三個MEMS加速度傳感器及三個陀螺和解算電路組成。

慣性傳感器分為兩大類：一類是角速率陀螺；另一類是線加速度計。

角速率陀螺又分為：機械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑氣浮角速率陀螺；撓性角速率陀螺；MEMS硅﹑石英角速率陀螺（含半球諧振角速率陀螺等）；光纖角速率陀螺；激光角速率陀螺等。

線加速度計又分為：機械式線加速度計；撓性線加速度計；MEMS硅﹑石英線加速度計（含壓阻﹑壓電線加速度計）；石英撓性線加速度計等。[1]

低精度MEMS慣性傳感器作為消費電子類產品主要用在手機、GPS導航、游戲機、數碼相機、音樂播放器、無線鼠標、PD、硬盤保護器、智能玩具、計步器、防盜系統。由于具有加速度測量、傾斜測量、振動測量甚至轉動測量等基本測量功能，有待挖掘的消費電子應用會不斷出現。

中級MEMS慣性傳感器作為工業級及汽車級產品，則主要用于汽車電子穩定系統（ESP或ESC）GPS輔助導航系統，汽車安全氣囊、車輛姿態測量、精密農業、工業自動化、大型醫療設備、機器人、儀器儀表、工程機械等。

高精度的MEMS慣性傳感器作為軍用級和宇航級產品，主要要求高精度、全溫區、抗沖擊等指數。主要用于通訊衛星無線、導彈導引頭、光學瞄準系統等穩定性應用；飛機/導彈飛行控制、姿態控制、偏航阻尼等控制應用、以及中程導彈制導、慣性GP戰場機器人等。

固態慣性傳感器有著潛在的成本、尺寸、重量等優勢，其在系統中的應用也必然激增。隨著器件成本的降低、小尺寸傳感器的出現，軍事應用也出現了許多新的應用領域。

慣性導航系統是隨著慣性傳感器的發展而發展起來的一門導航技術,它完全自主、不受干擾、輸出信息量大、輸出信息實時性強等優點使其在軍用航行載體和民用相關領域獲得了廣泛應用。慣導系統的精度、成本主要取決于陀螺儀和加速度傳感器的精度和成本,尤其是陀螺儀其漂移對慣導系統位置誤差增長的影響是時間的三次方函數,而高精度的陀螺儀制造困難,成本很高,因此慣性技術界一直在尋求各種有效方法來提高陀螺儀的精度,同時降低系統成本。[2]

微型機械式慣導傳感器將統治戰術性能要求（或以下）的應用領域。軍用市場將推動這些傳感器的發展，如適用靈巧飛行器、自主導航導彈、短程戰術導彈導航、火力控制系統、雷達天線的運動補償、復合智能小型推進器和晶片大小的INS/GPS系統。洲際彈道導彈系統和潛射彈道導彈系統戰略制導系統的發展，將依賴于武器系統和戰略系統的總體性能要求。導航系統為提高導航精度，將繼續采用穩定平臺式機械陀螺儀和加速度計（擺式陀螺加速度計）。

從20世紀50年代的液浮陀螺儀到70年代的動力調諧陀螺儀;從80年代的環形激光陀螺儀、光纖陀螺儀到90年代的振動陀螺儀以及目前研究報道較多的微機械電子系統陀螺儀相繼出現,從而推動了慣性傳感器不斷向前發展。因此對慣性傳感器的研究一直是各國慣性技術領域的重點,各種新材料、新技術在慣性傳感器研究中都有所體現,隨著低成本、高精度的慣性傳感器的出現,慣性導航系統將成為通用、低價的導航系統。

*近的傳感器技術發展使得機器人和其他工業系統設計實現了革命性的進步。除了機器人以外，慣性傳感器有可能改善其系統性能或功能的應用還包括：平臺穩定、工業機械運動控制、安全/監控設備和工業車輛導航等。這種傳感器提供的運動信息比較有用，不僅能改善性能，而且能提高可靠性、安全性并降低成本。

然而，要想獲得這些好處，必須克服一些障礙，尤其是許多工業應用處在惡劣的物理環境下，必須考慮溫度、震動、空間限制和其他因素的影響。對工程師而言，為了從傳感器獲取一致的數據，將其轉換成有用的信息，然后在系統的時序和功耗預算內做出反應，工程師必須擁有多種技術領域的知識和經驗，并且遵循良好的設計規范。 　了解問題

來自慣性傳感器的信息經過處理和積分后，可以提供許多不同類型的運動、位置和方向輸出。每種類型的運動都涉及到一系列應用相關的復雜因素，對此必須加以了解。工業控制應用就是一個很好的例子，某種形式的指向或轉向設備對這些應用十分有用。傾斜或角度檢測常常是此類應用的核心任務，在*簡單的范例中，機械氣泡傳感器便可滿足需要。然而，在明確傳感器需求之前，需要分析*終系統的完整運動動力學特性、環境、壽命周期和可靠性預期。

如果系統的運動相對而言為靜態，簡單的角度傳感器可能就足夠了，但實際的技術決策取決于響應時間、沖擊和震動、尺寸、整個使用壽命期間的性能漂移。此外，許多系統涉及到多種類型的運動（如旋轉和加速度等），而且往往在多個軸上工作，這就需要考慮將多種類型的傳感器結合在一起。

一旦知道正確的傳感器類型和技術后，挑戰便轉移到了解和*終補償傳感器對環境（溫度、震動、沖擊、安裝位置、時間和其他變量）的反應。環境補償涉及到額外的電路、測試、校準和動態調整，而每種類型的傳感器，甚至每個傳感器都是獨一無二的，因此這又會帶來補償不足或過度的額外風險，除非工程師比較了解傳感器特性。*后這一點驅使許多設計工程師采用完全集成的傳感器解決方案，以便消除運用和實施過程中的障礙。

線性速率抑或角速率

慣性傳感器有多種類型。MEMS（微機電系統）傳感器是*完善的傳感器類型之一，已經使眾多應用受益。15年前，MEMS線性加速度傳感器（加速度計）徹底革新了汽車安全氣囊系統。自此以后，從筆記本電腦硬盤保護到游戲控制器中更為直觀的用戶運動捕捉，各種獨特的功能和應用得以實現。

根據諧振器陀螺儀的原理，MEMS結構也可提供角速率檢測。兩個多晶硅檢測結構各含一個“擾動框架”，通過靜電將擾動框架驅動到諧振狀態，以產生必要的運動，從而在旋轉期間產生科氏力。在各框架的兩個外部很限處（與擾動運動正交）是可動指，放在固定指之間，形成一個容性撿拾結構來檢測科氏運動。當MEMS陀螺儀旋轉時，可動指的位置變化通過電容變化進行檢測，由此得到的信號送入一系列增益和解調級，產生電速率信號輸出。某些情況下，該信號還會經轉換，送入一個專有數字校準電路。

傳感器內核周圍的集成度和校準由*終性能要求決定，但在許多情況下，可能需要進行運動校準，以便實現*高的性能水平和穩定性。

調理和處理

在工業市場上，諸如震動分析、平臺校正、一般運動控制之類的應用都需要高集成度和高可靠度的解決方案，而且在許多情況下檢測元件是直接嵌入到現有設備中。此外，還必須提供足夠的控制、校準和編程功能，使器件真正獨立自足。一些應用范例包括：

● 機器自動化：通過提高位置檢測精度，并且更加嚴格地將此信息與遠程控制或編程設置的運動相關聯，可以使自治或遠程控制的精密儀器和機械臂更加準確、有效。

● 工業機械的狀態監控：通過將傳感器更深地嵌入機械內部，并且借由傳感器性能和嵌入式處理而更早、更準確地掌握狀態變化的跡象，可以獲得更實用的價值。

● 移動通信和監控：無論是陸地、航空還是海上交通工具，慣性傳感器都有助于其實現穩定（天線和相機）和定向導航（利用GPS和其他傳感器進行航位推算）。

工業檢測市場異常紛繁多樣，必須通過集成嵌入式可調特性，如數字濾波、采樣速率控制、狀態監控、電源管理選項和專用輔助I/O功能等，來支持各種不同的性能、集成度和接口要求。在其他更復雜的情況下，還需要采用多個傳感器和多種類型的傳感器。即使看起來很簡單的慣性運動，例如僅限于一個或兩個軸的運動，也可能需要同時采用加速度計和陀螺儀檢測來補償重力、震動及其他不符常規的行為和影響。

傳感器還可能具有交叉靈敏度，很多時候需要對此進行補償，即使無須補償，至少也需要加以了解。此外，慣性傳感器的性能指標存在許多不同的標準，這使得上述問題的解決更加困難。當指定角速率傳感器要求時，多數工業系統設計工程師主要關心的是陀螺儀穩定性（隨時間發生的偏置估算），消費級陀螺儀通常不會規定這一特性。如果傳感器的線性加速度性能較差，那么即使0.003°/s的良好陀螺儀偏置穩定性也可能毫無意義。例如，假設線性加速度特性為0.1°/s/G，在旋轉±90° (1 G)的簡單情況下，這將給0.003°/s的偏置穩定性增加0.1°的誤差。加速度計通常與陀螺儀一起使用，以便檢測重力影響，并且提供必要的信息來驅動補償過程。

為了優化傳感器性能并盡可能縮短開發時間，需要深入了解傳感器靈敏度和應用環境。校準計劃可以針對影響*大的因素進行定制，從而減少測試時間和補償算法開銷。面向具體應用的解決方案將適當的傳感器與必要的信號處理結合在一起，如果具備高性價比并且提供現成可用的標準系統接口，這些解決方案將能消除許多工業客戶過去所面臨的實施和生產障礙。

加速度、震動分析

在一些應用案例中，相對簡單的傳感器輸出可能就足夠了，但在另一些應用中（例如，通過震動分析進行狀態監控），則需要增加相當多的處理過程才能實現所需的輸出。

圍繞慣性傳感器而構建的一個高集成度器件示例是ADIS16227，它是一款完全自治的頻域震動監控器。此類器件可能不提供相對簡單的g/mV輸出，而是提供特定應用分析。在本例中，其嵌入式頻域處理、512點實值FFT和片上存儲器能夠識別各震動源并進行歸類，監控其隨時間的變化情況，并根據可編程的閾值做出反應。

能夠檢測和了解運動可能對幾乎所有設想到的領域都具有應用價值。大多數情況下，人們希望掌控一個系統發生的運動，并利用該信息提高性能（響應時間、精度、工作速度等），增強安全性或可靠性（系統在危險情況下關機），或者獲得其他增值特性。但在某些情況下，不運動才是至關重要的，因此傳感器可用來檢測不需要的運動。

這些特性或性能升級往往在現有系統上實施，考慮到*終系統的功耗和尺寸已確定，或者必須*小化，MEMS慣性傳感器的小尺寸和低功耗特性無疑很具吸引力。某些情況下，這些系統的設計人員不是運動動力學方面的專家，因此，在決定是否進行系統升級時，完全集成和校準的傳感器存在與否可能是*關鍵的因素。